什么是光刻膠,光刻膠的用途
什么是光刻膠,是一種對(duì)光敏感的混合液體。其成分包括:光引發(fā)劑、光刻膠樹(shù)脂、單體、溶劑和其他添加劑。光刻膠可以通過(guò)光化學(xué)反應(yīng)和光刻工藝(如曝光和顯影)將所需的精細(xì)圖案從光照(掩模版)轉(zhuǎn)移到待處理的襯底上。
根據(jù)統(tǒng)計(jì),2019年全球光刻膠市場(chǎng)預(yù)計(jì)近90億美元,CAGR自2010年以來(lái)約占5.4%。預(yù)計(jì)到2022年全球光刻膠市場(chǎng)將突破100億美元。根據(jù)應(yīng)用領(lǐng)域,光刻膠可分為PCB光刻膠,顯示面板光刻膠,半導(dǎo)體光刻膠等光刻膠不同種類(lèi)的光刻膠在全球市場(chǎng)的市場(chǎng)結(jié)構(gòu)相對(duì)均衡,具體比例如下圖所示。
根據(jù)智研咨詢(xún)的數(shù)據(jù),得益于半導(dǎo)體、顯示面板和印刷電路板產(chǎn)業(yè),的東移,中國(guó)光刻膠本地供應(yīng)規(guī)模自2011年以來(lái)的年增長(zhǎng)率達(dá)到11%,高于全球5%的平均增長(zhǎng)率。2019年本地企業(yè)在中國(guó)光刻膠市場(chǎng)的銷(xiāo)售規(guī)模約為70億元,約占全球市場(chǎng)的10%,發(fā)展空間巨大。目前,中國(guó)的光刻膠主要使用光刻膠生產(chǎn)多氯聯(lián)苯,而光刻膠用于平板顯示器和半導(dǎo)體的供應(yīng)量極低。
光刻膠分類(lèi)
在平板顯示行業(yè);主要使用彩色和黑色光刻膠,LCD觸摸屏用光刻膠,薄膜晶體管液晶顯示器正性光刻膠。在光刻和蝕刻的生產(chǎn)過(guò)程中,光刻膠被涂覆在晶體薄膜的表面,掩模(掩模板)上的圖案通過(guò)曝光、顯影和蝕刻被轉(zhuǎn)移到膜上,以形成對(duì)應(yīng)于掩模板的幾何圖形。
在PCB行業(yè);光刻膠主要使用的是干膜光刻膠,濕膜光刻膠,感光阻焊油墨等。干膜用一種特殊的薄膜附著在經(jīng)過(guò)處理的覆銅板上進(jìn)行曝光和顯影;在覆銅板上涂上濕膜和光成像阻焊油墨,干燥后曝光顯影。干膜和濕膜各有優(yōu)勢(shì)。一般來(lái)說(shuō),濕膜的光刻膠分辨率比干膜高,價(jià)格也低。它正在取代光刻膠, 干膜的一些市場(chǎng)
在半導(dǎo)體集成電路制造業(yè);主要使用的有g(shù)線的光刻膠,I線的光刻膠,krf的光刻膠,ARF的光刻膠等。在大規(guī)模集成電路,硅片的制造過(guò)程中,一般要經(jīng)過(guò)十多次光刻。在每個(gè)光刻和刻蝕工藝中,光刻膠通過(guò)預(yù)烘焙、涂膠、前烘、對(duì)準(zhǔn)、曝光、后烘、顯影和蝕刻將掩模上的圖案轉(zhuǎn)移到硅晶片上
光刻膠是集成電路制造的重要材料,光刻膠的質(zhì)量和性能是影響集成電路性能、產(chǎn)量和可靠性的關(guān)鍵因素,光刻工藝的成本約為芯片,整個(gè),制造工藝的35%,耗時(shí)約為芯片的40%-50%。因此,光刻膠是集成電路半導(dǎo)體制造的核心材料。
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